自從模擬射頻通信技術(shù)于20世紀90年代初發(fā)展以來射頻前端模塊逐漸成為通信工具的核心組件在所有射頻前端模塊中，石英諧振器已經(jīng)成為發(fā)展勢頭猛、發(fā)展前景大的部件。 隨著無線通信技術(shù)的高速發(fā)展，5g通信協(xié)議越來越成熟，市場對石英諧振器的各方面性能提出了更嚴格的標準。石英諧振器的性能由構(gòu)成濾波器的諧振器單元決定。 在目前的濾波器中，薄膜體聲波諧振器因其體積小、插入損耗低、帶外減少大、品質(zhì)因數(shù)高、工作頻率高、功率容量大、抗靜電沖擊性能良好等特點，成為5g應(yīng)用的理想濾波器之一，那么，下面一起了解下石英諧振器及其形成方法與流程吧!

　　通常，薄膜彈性波諧振器具備兩個薄膜電極，在兩個薄膜電極之間設(shè)有壓電薄膜層，通過壓電薄膜層在交變電場下產(chǎn)生振動，通過該振動激勵沿壓電薄膜層的厚度方向傳播的體彈性波，該聲波沿著上下電極與空氣的邊界面被反射當(dāng)聲波以剛好半個波長的奇數(shù)倍在壓電薄膜層中傳播時，就會形成駐波振動，但目前制備的腔式薄膜體聲波諧振器插入損耗大，不能滿足高性能射頻系統(tǒng)的需要。

　　石英諧振器技術(shù)實現(xiàn)要素：

　　本發(fā)明解決的課題是提供一種提高石英諧振器及其形成方法。

　　為了解決上述課題，本發(fā)明石英諧振器的形成方法包括：電極、二電極、三電極、第四電極和第五電極; 二電極，位于所述壓電層上; 所述電極和所述二電極的一方或雙方是包括與所述壓電體層相對的金屬層和位于比所述金屬層更靠所述壓電體層側(cè)的位置的二金屬層的復(fù)合層疊體，所述金屬層的表面粗糙度小于所述二金屬層的表面粗糙度，所述金屬層的電阻率

　　因此，本發(fā)明提供一種石英諧振器，包括形成電極、形成電極和形成二電極。 在所述電極上形成壓電層工序、在所述壓電層上形成二電極的工序、所述一電極及所述二電極的一方或兩方是包括與所述壓電體層相對的一金屬層和與所述金屬層相比位于所述壓電體層側(cè)的二金屬層的復(fù)合層疊體，所述一金屬層的表面粗糙度

　　石英諧振器與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的技術(shù)具有以下優(yōu)點。

　　在本發(fā)明的石英諧振器的形成方法中，所述一電極和所述二電極的一方或雙方是包括與所述壓電層相對的一金屬層和比所述一金屬層位于所述壓電層相反側(cè)的二金屬層的復(fù)合層疊，所述一金屬層對應(yīng)材料的電阻率比所述二金屬層對應(yīng)材料的電阻率小.在所述一電極和所述二電極均為復(fù)合層疊情況下，所述二金屬層對應(yīng)材料的電阻率小于所述一金屬層對應(yīng)材料的電阻率，因此與所述一電極和所述二電極僅由一金屬層構(gòu)成的情況相比，一電極和所述二電極的總電阻小; 另外，在所述一電極上形成壓電層過程中，所述壓電層形成在表面粗糙度小的所述一金屬層上，由此，所述壓電層在晶體的生長方向上的均勻性良好，所述壓電層的形成質(zhì)量良好; 綜上所述，在信號通過諧振器的過程中，所述一電極和二電極的總電阻小，所述壓電層的形成質(zhì)量好，從而能夠減少諧振器的插入損耗，有利于提高所述諧振器的性能。